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Field Dependence of Porous Low-k Dielectric Breakdown as Revealed by the Effects of Line Edge Roughness on Failure Distributions | 115 |
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Field Dependence of Porous Low-k Dielectric Breakdown as Revealed by the Effects of Line Edge Roughness on Failure Distributions | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 |
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