多晶矽壓阻式力感測器之設計、製作及測試研究(I)

標題:	多晶矽壓阻式力感測器之設計、製作及測試研究(I) Design, Fabrication and Testing of Poly-Si Piezoresistive Micro Force Sensors (I)
作者:	黃宇中 HUANG YU-CHUNG 國立交通大學電子工程學系
公開日期:	2003
官方說明文件#:	NSC92-2218-E009-011
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92277 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=874718&docId=167674
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