標題: | 集束型半導體製程設備模擬器之軟體設計製作 Hardware-in-the-Loop-Based Verification of Controller Software for Cluster Tool in Semiconductor Manufacture |
作者: | 李安謙 LEE AN-CHEN 交通大學機械工程系 |
公開日期: | 2002 |
官方說明文件#: | NSC91-AT-7009-002 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/93336 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=790595&docId=151838 |
顯示於類別: | 研究計畫 |