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| 12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫Ⅰ：12吋矽晶圓CVD製程設備的加熱及成長BST薄膜之進氣系統設計與反應爐系統整合(II) | 128 |
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| 12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫Ⅰ：12吋矽晶圓CVD製程設備的加熱及成長BST薄膜之進氣系統設計與反應爐系統整合(II) | 1 | 1 | 2 |
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