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dc.contributor.author張俊彥en_US
dc.contributor.authorCHANG CHUN-YENen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:35:44Z-
dc.date.available2014-12-13T10:35:44Z-
dc.date.issued2000en_US
dc.identifier.govdocNSC89-2218-E009-086zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/93563-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597413&docId=112581en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title超高真空化學氣相沉積低溫新穎複晶矽薄膜電晶體之製作與可靠度分析---子計畫三:超高真空化學氣相沈積新穎複晶矽薄膜電晶體之低溫閘極介電層與新結構之研究(III)zh_TW
dc.titleThe Fabrication and Reliability of Low Temperature Novel UHVCVD Poly-Si TFTs(III)en_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department國立交通大學電子工程學系zh_TW
顯示於類別:研究計畫