8吋矽晶圓半導體LPCVD製程設備之研發---子計畫I：LPCVD製程設備之加熱及進氣系統設計、流場模擬與系統整合及建立(III)
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進氣系統 , 晶圓 , 熱傳導 , 催化劑 , 熱傳遞 , 反應器 , Gas feeding system , Wafer , Thermal conductivity , Precursor , Heat transfer , Reactor