CN超硬材料之製程及應用開發---子計畫II：氮化碳前驅物之製備---擬合成塊狀和薄膜氮化碳

標題:	CN超硬材料之製程及應用開發---子計畫II：氮化碳前驅物之製備---擬合成塊狀和薄膜氮化碳 Preparation of Carbon Nitride Precursors---For Synthesis of Bulk and Film Carbon Nitrides
作者:	郭正次交通大學材料科學與工程研究所
關鍵字:	前驅物;離子束濺鍍;氮化碳;超硬質材料;化學氣相沈積法;Precursor;Ion beam sputtering;Carbon nitride;Ultrahard material;Chemical vapor deposition (CVD)
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2216-E009-010
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94584 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=451624&docId=82207
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