標題: 化學氣相沈積氧化鉭在鎢基板上之動態隨機記憶體電容器之研究
作者: 羅正忠
交通大學電子工程系
公開日期: 1997
官方說明文件#: NSC86-2215-E009-042
URI: http://hdl.handle.net/11536/95338
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=320153&docId=57879
顯示於類別:研究計畫