標題: | 化學氣相沈積氧化鉭在鎢基板上之動態隨機記憶體電容器之研究 |
作者: | 羅正忠 交通大學電子工程系 |
公開日期: | 1997 |
官方說明文件#: | NSC86-2215-E009-042 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/95338 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=320153&docId=57879 |
顯示於類別: | 研究計畫 |
標題: | 化學氣相沈積氧化鉭在鎢基板上之動態隨機記憶體電容器之研究 |
作者: | 羅正忠 交通大學電子工程系 |
公開日期: | 1997 |
官方說明文件#: | NSC86-2215-E009-042 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/95338 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=320153&docId=57879 |
顯示於類別: | 研究計畫 |