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dc.contributor.author裘性天en_US
dc.contributor.authorCHIU HSIN-TIENen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:38:37Z-
dc.date.available2014-12-13T10:38:37Z-
dc.date.issued1997en_US
dc.identifier.govdocNSC86-2113-M009-003zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/95546-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=270240&docId=48083en_US
dc.description.abstract本計畫將繼續本研究室之研究, 嘗試以分子化合物為前驅物,合成無機材料. 重點有以下列四點:一. 合成及鑑定新化合物, 以可能成做無機材料前驅物者為目標.如含第五及六族過渡金屬-氮雙鍵之有機亞�類錯合物及金屬-氮參鍵之氮化合物,多矽有機金屬化合物等等.二. 從新合成之錯合物中選擇較合適者以為化學氣相沉積反應之前驅物,以成長薄膜. 如金屬氮化物, 氧化物, 碳化物薄膜等等.三. 嘗試以分子化合物為前驅物, 合成無機粉末材料.四. 化學氣相沉積中所產生的氣體產物之分析,以進一步瞭解前驅物分解之反應途徑.zh_TW
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject過渡金屬有機亞胺類化合物zh_TW
dc.subject過渡金屬氮化合物zh_TW
dc.subject聚矽有機金屬zh_TW
dc.subject化學氣相沈積zh_TW
dc.subject金屬氮化物薄膜zh_TW
dc.subject金屬氮化物粉末zh_TW
dc.subject金屬氧化物粉末zh_TW
dc.subject碳化矽薄膜zh_TW
dc.subject前驅物zh_TW
dc.subject分解zh_TW
dc.subjectTransition metal organoimido complexen_US
dc.subjectTransition metal nitrido complexen_US
dc.subjectOrganopolysilaneen_US
dc.subjectChemical vapor depositionen_US
dc.subjectMetal nitride thin filmen_US
dc.subjectMetal nitride powderen_US
dc.subjectMetal oxide powderen_US
dc.subjectSilicon carbide thin filmen_US
dc.subjectPrecursoren_US
dc.subjectDecompositionen_US
dc.title分子化合物合成無機材料之新方法(I)zh_TW
dc.titleNew Molecular Routes to Inorganic Materials (I)en_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學應用化學系zh_TW
顯示於類別:研究計畫