高精確度表面粗糙度測量儀的研究

Title:	高精確度表面粗糙度測量儀的研究 Research on High Resolution Optical Profilometer
Authors:	蘇德欽 SU DER-CHIN 國立交通大學光電工程研究所
Keywords:	表面粗糙度;移頻器;解析度;穩定度;Surface roughness;Frequency shifter;Resolution;Stability
Issue Date:	1996
Abstract:	提出一種新型表面粗慥度測量儀並試組裝其prototype 以証明其可用性.在此測量儀使用本實驗室以前所進行光外差式研究所設計的新型移頻器及相位計,且為了避免氣流擾動及機械移動所引起振動的影響,參考光將採來至待測面某一部份的反射光,以確保其具有高的解析度及穩定度.更進一步,為了使其實用化,預定與電腦界面相連接,以達成及時量測.
Gov't Doc #:	NSC85-2215-E009-005
URI:	http://hdl.handle.net/11536/95750 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230105&docId=41802
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