高精確度表面粗糙度測量儀的研究

Abstract

提出一種新型表面粗慥度測量儀並試組裝 其prototype 以証明其可用性.在此測量儀使用本 實驗室以前所進行光外差式研究所設計的新型 移頻器及相位計,且為了避免氣流擾動及機械 移動所引起振動的影響,參考光將採來至待測 面某一部份的反射光,以確保其具有高的解析 度及穩定度.更進一步,為了使其實用化,預定與 電腦界面相連接,以達成及時量測.