快速微型化IrO/sub x/固態CO/sub 2/感測元件

標題:	快速微型化IrO/sub x/固態CO/sub 2/感測元件 Fast Solid-State CO/sub 2/ Microsensor Based on IrO/sub x/
作者:	趙書琦 Chao Shuchi 國立交通大學電子物理學系
關鍵字:	快速反應;固態;CO/sub2/微感測器;薄膜;濺鍍;Fast response;Solid-state;CO2 microsensor;Thin film;Sputtering
公開日期:	1996
官方說明文件#:	NSC85-2215-E009-062
URI:	http://hdl.handle.net/11536/95751 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230108&docId=41803
Appears in Collections:	Research Plans