標題: | 單晶之CVD薄膜和熔化成長法製程中的不穩定熱流與使其穩定之研究---總計畫(I) A Study of Generic Unstable Flow and Heat Transfer and Its Stabilization in CVD Thin Film and Melt Growth of Single Crystals(I) |
作者: | 林清發 LIN TSING-FA 國立交通大學機械工程學系 |
關鍵字: | 薄膜單晶;浮力;不穩定熱流;化學蒸鍍法;晶體生長;Thin film single crystal;Buoyancy;Unstable flow;CVD;Crystal growth |
公開日期: | 1996 |
官方說明文件#: | NSC85-2212-E009-030 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/95781 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230687&docId=41960 |
顯示於類別: | 研究計畫 |