| Title: | 同步輻射X光光刻術發展之可行性評估---子計畫二：同步輻射X光光罩製作 |
| Authors: | 蘇翔 國立交通大學電子工程學系 |
| Issue Date: | 1996 |
| Gov't Doc #: | NSC85-2745-P009-001 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/96028 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=223377&docId=40053 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
