利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價

標題:	利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價 Preparation and Evaluation of Functional Solid Hard Thin Films by Arc Ion Plating
作者:	陳家富 CHEN CHIA-FU 國立交通大學材料科學工程研究所
關鍵字:	離子鍍層法;電漿;陶瓷薄膜;電弧離子鍍層法;Ion plating;Plasma;Ceramics film;Arc ion plating
公開日期:	1995
官方說明文件#:	NSC84-2216-E009-019
URI:	http://hdl.handle.net/11536/96547 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=198948&docId=34806
Appears in Collections:	Research Plans