利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價

Title:	利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價 Preparation and Evaluation of Functional Solid Hard Thin Films by Arc Ion Plating
Authors:	陳家富 CHEN CHIA-FU 國立交通大學材料科學工程研究所
Keywords:	離子鍍層法;電漿;陶瓷薄膜;電弧離子鍍層法;Ion plating;Plasma;Ceramics film;Arc ion plating
Issue Date:	1995
Gov't Doc #:	NSC84-2216-E009-019
URI:	http://hdl.handle.net/11536/96547 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=198948&docId=34806
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APA	陳., & CHEN C. (1995). 利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價. https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=198948&docId=34806.
Bibtex	@article{1995, title={利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價}, author={陳家富 and CHEN CHIA-FU}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=198948&docId=34806}, year={1995}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96547}, }