利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價

Date

Authors

Keywords

離子鍍層法 , 電漿 , 陶瓷薄膜 , 電弧離子鍍層法 , Ion plating , Plasma , Ceramics film , Arc ion plating

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=198948&docId=34806
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96547

Collections

研究計畫;;Research Plans