鑽石膜合成技術及其工業應用研究---子計畫五：電漿CVD法合成鑽石及類鑽石薄膜之研究

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	陳家富	en_US
dc.contributor.author	CHEN CHIA-FU	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:39:45Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:39:45Z	-
dc.date.issued	1995	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC84-2221-E009-036	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/96783	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=161177&docId=26824	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	鑽石膜合成技術及其工業應用研究---子計畫五：電漿CVD法合成鑽石及類鑽石薄膜之研究	zh_TW
dc.title	Synthesis of Diamond and Diamond Like Film Using Plasma Chemical Vapor Deposition	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學材料科學工程研究所	zh_TW
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