微加工技術製作之高敏度派藍尼真空計

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	謝正雄	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:40:52Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:40:52Z	-
dc.date.issued	1993	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC82-0404-E009-127	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/97905	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=62137&docId=9144	en_US
dc.description.abstract	本計畫旨在製作一種電阻式微小派藍尼感測元 ,裝設一種新的環境溫度補償技術,以及設計一種低雜訊信號處理電路以為放大,測量及校正此真空計用,企望能使最低可測之真空壓力低於10/sup - 6/Torr(預期10/sup -7/Torr).本研究建議之微派藍尼真空感測元將利用半導體微加工技術來完成.此技術為目前流行的各種微感測元件製作基本方法之一.以異方蝕刻技術在矽晶片上形成一V形槽,而在槽上伸張跨有一懸浮的玻璃薄層.在此薄層上則鍍有如白金等之溫度敏感之薄膜電阻.根據吾人初步探討的結果顯示, 此種元件具有高真空壓力靈敏度的潛力.	zh_TW
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	真空計	zh_TW
dc.subject	派藍尼感測器	zh_TW
dc.subject	微加工技術	zh_TW
dc.subject	Vacuum gauge	en_US
dc.subject	Pirani sensor	en_US
dc.subject	Micro-mechining	en_US
dc.title	微加工技術製作之高敏度派藍尼真空計	zh_TW
dc.title	Fabrication of High-Sensitivity Micro-Pirani Gauge by Micro- machining Technique	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	交通大學光電工程研究所	zh_TW
Appears in Collections:	Research Plans