微加工技術製作之高敏度派藍尼真空計

標題:	微加工技術製作之高敏度派藍尼真空計 Fabrication of High-Sensitivity Micro-Pirani Gauge by Micro- machining Technique
作者:	謝正雄交通大學光電工程研究所
關鍵字:	真空計;派藍尼感測器;微加工技術;Vacuum gauge;Pirani sensor;Micro-mechining
公開日期:	1993
摘要:	本計畫旨在製作一種電阻式微小派藍尼感測元 ,裝設一種新的環境溫度補償技術,以及設計一種低雜訊信號處理電路以為放大,測量及校正此真空計用,企望能使最低可測之真空壓力低於10/sup - 6/Torr(預期10/sup -7/Torr).本研究建議之微派藍尼真空感測元將利用半導體微加工技術來完成.此技術為目前流行的各種微感測元件製作基本方法之一.以異方蝕刻技術在矽晶片上形成一V形槽,而在槽上伸張跨有一懸浮的玻璃薄層.在此薄層上則鍍有如白金等之溫度敏感之薄膜電阻.根據吾人初步探討的結果顯示, 此種元件具有高真空壓力靈敏度的潛力.
官方說明文件#:	NSC82-0404-E009-127
URI:	http://hdl.handle.net/11536/97905 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=62137&docId=9144
Appears in Collections:	Research Plans