分子化合物合成無機材料之新方法(IV)

標題:	分子化合物合成無機材料之新方法(IV) New Molecular Routes to Inorganic Materials (IV)
作者:	裘性天 CHIU HSIN-TIEN 交通大學應用化學系
關鍵字:	化學氣相沈積;化學氣相沈積前驅物;金屬氮化物;金屬碳化物;金屬氧化物;奈米顆粒;過渡金屬有機亞胺類化合物;過渡金屬氮化合物;有機多矽烷化合物;Chemical vapor deposition;CVD precursor;Metal nitride;Metal carbide;Metal oxide;Nano particle powder;Transition metal organoimido complex;Transition metal nitrido complex;Organopolysilane
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2113-M009-013
URI:	http://hdl.handle.net/11536/98372 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=533857&docId=97641
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