具缺陷補償、直接角度量測之壓電陀螺儀系統( II )

標題:	具缺陷補償、直接角度量測之壓電陀螺儀系統( II ) A Mems Piezoelectric Gyroscope System with Imperfection Compensations and Direct Angle Measurements
作者:	陳宗麟 Chen Tsung-Lin 國立交通大學機械工程學系（所）
關鍵字:	微機電陀螺儀;陀螺儀控制;壓電陀螺儀;機械耦合效應;電訊號耦合效應;MEMS gyroscopes;Piezoelectric gyroscope;mechanical coupling;electrical feedthrough
公開日期:	2011
官方說明文件#:	NSC100-2628-E009-001
URI:	http://hdl.handle.net/11536/99308 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=2358893&docId=373530
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