形成電子裝置閘極圖案之方法

Abstract

一種形成電子裝置閘極圖案之方法，包括以下步驟： 提供一基板，其上形成一第一光阻層；進行一第一道微影 製程，以形成一具有一第一寬度之一第一圖案於該基板 上；形成一第二光阻層，其覆蓋該基板上之該第一圖案以 及該第一光阻層；以及進行一第二道微影製程，其與該第 一道微影製程之間具有一位移，以形成一具有一第二寬度 之一第二圖案於該基板上；其中，該第二寬度係小於該第 一寬度。