複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用---子計畫III：MILC低溫複晶矽薄膜電晶體之退火製程開發、新穎結構及小尺寸元件之製作及研究(I)

Date

Authors

Keywords

低溫 , 多晶矽鍺 , 薄膜電晶體 , 退火製程 , Low temperature , Poly SiGe , Thin film transistor (TFT) , Annealing process

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665740&docId=126384
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94109

Collections

研究計畫;;Research Plans