積體電路化學品與材料之開發---子計畫I：超微細Al/sub 2/O/sub 3/及Y-PSZ粉末之合成及其化學機械研磨劑之製備(II)

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88CPCE009009.pdf (16.38 MB)

Date

Authors

Keywords

超微粒 , 氧化鋁 , 化學機械拋光 , Ultrafine particle , Alumina , Chemical mechanical polishing

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=461621&docId=84633
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94190

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研究計畫;;Research Plans