超高真空化學氣相沉積低溫新穎複晶矽薄膜電晶體之製作與可靠度的研究---總計畫(II)

Date

Authors

Keywords

超高真空化學氣相沈積法 , 薄膜電晶體 , 複晶矽 , UHVIVD , Thin film transistor (TFT) , Polysilicon

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542203&docId=99611
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/89077

Collections

研究計畫;;Research Plans