集積型多元感測元件
| dc.citation.patentcountry | TWN | en_US |
| dc.citation.patentnumber | 201738566 | en_US |
| dc.contributor.author | 溫瓌岸 | zh_TW |
| dc.date.accessioned | 2019-04-11T06:02:59Z | |
| dc.date.available | 2019-04-11T06:02:59Z | |
| dc.date.issued | 2017-11-01 | en_US |
| dc.description.abstract | 一種集積型多元感測元件，包括形成在單一基板上的一加速度計及一共振型磁力計；其中，該加速度計包括一質量塊與二組偵測電極，該共振型磁力計包括一質量塊、二組偵測電極，以及一振動驅動電路，且該加速度計之質量塊與該共振型磁力計之質量塊形成一體，並懸吊在該基板上。該多元感測元件之輸出信號可包括：該質量塊在特定方向之位移量；該質量塊在特定方向所受之磁量；該質量塊之振動頻率等物理量之代表信號。 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | G01P015/08 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | G01R033/24 | en_US |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/151398 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 集積型多元感測元件 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |