集積型多元感測元件

Abstract

一種集積型多元感測元件，包括形成在單一基板上的一加速度計及一共振型磁力計；其中，該加速度計包括一質量塊與二組偵測電極，該共振型磁力計包括一質量塊、二組偵測電極，以及一振動驅動電路，且該加速度計之質量塊與該共振型磁力計之質量塊形成一體，並懸吊在該基板上。該多元感測元件之輸出信號可包括：該質量塊在特定方向之位移量；該質量塊在特定方向所受之磁量；該質量塊之振動頻率等物理量之代表信號。