電極/鐵電薄膜/結緣層/矽晶體結構之薄膜製程及特性劣化研究
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電極 , 鐵電薄膜 , 絕緣層 , 矽晶體 , 特性劣化 , Electrode , Ferroelectric thin film , Insulating layer , Silicon crystal , Characterization degradation