應用DSMC法模擬分析深次微米銅化學氣相沈積之熱流場及沈積度

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Date

Authors

Keywords

直接模擬蒙地卡羅法 , 銅化學氣相沈積 , 渠溝 , DSMC method , Cu chemical vapor deposition , Trench

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=501393&docId=90414
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/93982

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研究計畫;;Research Plans