用於多階衝擊器之多微孔噴嘴板及其製造方法

Abstract

一種用於多階衝擊器之多微孔噴嘴板，由半導體製程之微影、蝕刻及電鑄方法所製成，此一多微孔噴嘴板包含有一板體以及多數微孔，微孔形成於該板體且貫穿該板體之頂底兩側，其內徑由噴嘴板之底側朝上逐漸擴大，且內表面平滑，而可避免微粒於其內部堆積而導致阻塞。