用於多階衝擊器之多微孔噴嘴板及其製造方法
| dc.citation.patentcountry | TWN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 201131157 | zh_TW |
| dc.contributor.author | 蔡春進 | en_US |
| dc.contributor.author | 陳聖傑 | en_US |
| dc.contributor.author | 陳宏達 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:12:16Z | |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:12:16Z | |
| dc.date.issued | 2011-09-16 | en_US |
| dc.description.abstract | 一種用於多階衝擊器之多微孔噴嘴板，由半導體製程之微影、蝕刻及電鑄方法所製成，此一多微孔噴嘴板包含有一板體以及多數微孔，微孔形成於該板體且貫穿該板體之頂底兩側，其內徑由噴嘴板之底側朝上逐漸擴大，且內表面平滑，而可避免微粒於其內部堆積而導致阻塞。 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | G01N015/02 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | G01N001/22 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/103551 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 用於多階衝擊器之多微孔噴嘴板及其製造方法 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |