微影步進機之IDM定位機構實作---子計畫III：加速規式之位置、磨擦力感測器在二維衝量馬達伺服控制中之應用(I)

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https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=877060&docId=168254
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92012

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研究計畫;;Research Plans