一種鐵電層電極結構及製造方法
| dc.citation.patentcountry | TWN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 00586184 | zh_TW |
| dc.contributor.author | 曾俊元 | en_US |
| dc.contributor.author | 李顯億 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:17:27Z | |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:17:27Z | |
| dc.date.issued | 2004-05-01 | en_US |
| dc.description.abstract | 本案係指一種鐵電層電極結構及製造方法，其製造方法係包含下列步驟：(a)提供一基板；(b)形成一絕緣層於該基板上；(c)形成複數個氧化物電極於該絕緣層之上；(d)形成一鐵電層於該絕緣層及該複數個氧化物電極之上；以及(e)相對於該複數個氧化物電極形成複數個金屬電極於該鐵電層之上。 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | H01L021/8239 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | H01L029/772 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | C23C016/06 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | C23C016/18 | zh_TW |
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| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/106441 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 一種鐵電層電極結構及製造方法 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |