一種鐵電層電極結構及製造方法

Abstract

本案係指一種鐵電層電極結構及製造方法，其製造方法係包含下列步驟：(a)提供一基板；(b)形成一絕緣層於該基板上；(c)形成複數個氧化物電極於該絕緣層之上；(d)形成一鐵電層於該絕緣層及該複數個氧化物電極之上；以及(e)相對於該複數個氧化物電極形成複數個金屬電極於該鐵電層之上。