| 標題: | 一種鐵電層電極結構及製造方法 |
| 作者: | 曾俊元 李顯億 |
| 公開日期: | 1-五月-2004 |
| 摘要: | 本案係指一種鐵電層電極結構及製造方法，其製造方法係包含下列步驟：(a)提供一基板；(b)形成一絕緣層於該基板上；(c)形成複數個氧化物電極於該絕緣層之上；(d)形成一鐵電層於該絕緣層及該複數個氧化物電極之上；以及(e)相對於該複數個氧化物電極形成複數個金屬電極於該鐵電層之上。 |
| 官方說明文件#: | H01L021/8239 H01L029/772 C23C016/06 C23C016/18 H01L021/8239 H01L029/772 C23C016/06 C23C016/18 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/106441 |
| 專利國: | TWN |
| 專利號碼: | 00586184 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
