薄絕緣層複晶矽及相關元件之研究(V)

Abstract

本計畫係一長期計畫"薄絕緣層□複晶矽及 相關元件之研究(□)□(□)□(□) "(□)之延續 計畫.全程計畫之目標,為對薄絕緣層如SiO2, SiNxOy及複晶矽薄膜等,其應用於元件上之一些 製備方式□物理性質□元件應用□測量方法等 作一研究.