微影步進機衝量定位機構之實作---子計畫I：微影步進機之IDM定位機構動力模型分析與最佳控制(I)

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https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=877057&docId=168253
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92459

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研究計畫;;Research Plans