奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列，其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫II：電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(I)
| dc.contributor.author | 吳宗信 | en_US |
| dc.contributor.author | WU JONG-SHINN | en_US |
| dc.contributor.department | 國立交通大學機械工程研究所 | zh_TW |
| dc.date.accessioned | 2014-12-13T10:33:20Z | |
| dc.date.available | 2014-12-13T10:33:20Z | |
| dc.date.issued | 2003 | en_US |
| dc.description.sponsorship | 行政院國家科學委員會 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | NSC92-2120-M009-002 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=876671&docId=168150 | en_US |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92009 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列，其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫II：電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(I) | zh_TW |
| dc.type | Plan | en_US |