透射式微型偏轉鏡的設計與製作

Date

Authors

Keywords

活性離子蝕刻 , 微型偏轉鏡 , 繞射元件 , 二元光學 , Reactive ion etching (RIE) , Beam deflection microlens , Diffraction element , Binary optics

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418384&docId=74232
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94246

Collections

研究計畫;;Research Plans