多層二階紅外光柵的研製

Date

Authors

Keywords

嚴格耦合波理論 , 光學微影術 , 多階式光柵 , 模態理論 , 薄膜沈積 , 電漿蝕刻 , Rigorous coupled-wave theory , Optical lithography , Multilevel grating , Modal theory , Thin film deposition , Plasma etching

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418392&docId=74234
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94278

Collections

研究計畫;;Research Plans