子計畫IV：超高真空化學氣相沈積低溫複晶矽薄膜電晶體之鈍化與可靠度的研究

Date

Authors

Keywords

複晶矽 , 薄膜電晶體 , 鈍化 , 可靠度 , Polysilicon , Thin film transistor , Passivation , Reliability

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=444393&docId=80487
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94168

Collections

研究計畫;;Research Plans