偏壓法於非導體基材成長磊晶鑽石之研究

Date

Authors

Keywords

射頻偏壓 , 磊晶成長 , 微波 , 電漿 , Radio frequency bias , Epitaxial growth , Microwave , Plasma

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=444249&docId=80453
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94208

Collections

研究計畫;;Research Plans