極大型積體電路元件相關耐火金屬化物及電介質技術

Date

Authors

Keywords

極大型積體電路 , 縱橫比 , 電子迴旋共振化學氣相沈積 , 鎢化學氣相沈積 , VLSI , Aspect ratio , ECR-CVD , CVD-W

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234690&docId=43085
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/95802

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研究計畫;;Research Plans