半導體氣體感測裝置的製作方法及其半導體氣體感測裝置

Abstract

一種半導體氣體感測裝置的製作方法，包含半成品準備步驟、氣體感測槽形成步驟，及感測膜形成步驟。半成品準備步驟是準備氣體感測半成品，包括具有第一面與第二面的基板、分別形成在第一面的迴授電路單元，及加熱感測單元，加熱感測單元具有由第一面依序設置第一絕緣層、感測電極、第二絕緣層、微加熱器，及第三絕緣層。氣體感測槽形成步驟從第二面蝕刻基板至第一絕緣層，讓感測電極露出，形成與該微加熱器反向的氣體感測槽。感測膜形成步驟形成覆蓋感測電極的感測膜。本發明還提供以前述方法製成的半導體氣體感測裝置。