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製造半導體裝置的方法
製造半導體裝置的方法
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201824362.pdf
(1.75 MB)
Date
2018-07-01
Authors
簡昭欣
徐崇浚
季維均
劉繼文
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
DOI
Abstract
一種製造半導體裝置的方法,包含下列步驟。在半導體基板上形成第一金屬層,並在第一金屬層上形成第二金屬層。第二金屬層由與第一金屬層不同的金屬形成。施加微波輻射於半導體基板、第一金屬層和第二金屬層,以形成包含第一金屬層、第二金屬層和半導體基板的成分的合金。
Description
Keywords
Citation
URI
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/151475
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