以深蝕光刻術製作聚焦環---子計畫一：聚焦環之中間光罩製作

Date

Authors

Keywords

X光 , 光罩 , 鼓膜 , 吸收劑 , 碳化矽 , 鑽石膜 , 深寬比 , 聚焦環 , X-ray , Masks , Membrane , Absorber , Silicon carbide , Diamond film , Aspect ratio , Fresnel zone plates

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=229981&docId=41767
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/95616

Collections

研究計畫;;Research Plans