Browsing by Author S. P. Peng
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Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
1994 | 以含鹵素元素氣體之子迴旋共振電漿進行複晶矽的蝕刻技術 | 彭修平; S. P. Peng; 張國明; Kow-Ming Chang; 電子研究所 |
Issue Date | Title | Author(s) |
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1994 | 以含鹵素元素氣體之子迴旋共振電漿進行複晶矽的蝕刻技術 | 彭修平; S. P. Peng; 張國明; Kow-Ming Chang; 電子研究所 |