瀏覽 的方式： 作者 Lin, Chia-Shui
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| 公開日期 | 標題 | 作者 |
|---|---|---|
| 2003 | 應用順滑模態理論操作化學機械研磨製程 | 紀建宇; Chi, Chien-Yu; 林家瑞; Lin, Chia-Shui; 機械工程學系 |
| 2008 | 變壓藕合電漿多晶矽乾式蝕刻機蝕刻深度的批次控制 | 顏嘉良; Yen, Chia-Liang; 陳宗麟; 林家瑞; Chen, Tsung-Lin; Lin, Chia-Shui; 機械工程系所 |
| 公開日期 | 標題 | 作者 |
|---|---|---|
| 2003 | 應用順滑模態理論操作化學機械研磨製程 | 紀建宇; Chi, Chien-Yu; 林家瑞; Lin, Chia-Shui; 機械工程學系 |
| 2008 | 變壓藕合電漿多晶矽乾式蝕刻機蝕刻深度的批次控制 | 顏嘉良; Yen, Chia-Liang; 陳宗麟; 林家瑞; Chen, Tsung-Lin; Lin, Chia-Shui; 機械工程系所 |