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2006緩衝層與經氫氣回火矽晶圓對具氮化矽覆蓋層之形變N型金氧半場效電晶體之元件特性及可靠度之影響蔡子儀; Tzu-I Tsai; 黃調元; 林鴻志; Tiao-Yuan Huan; Horng-Chih Lin; 電子研究所
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